Петербургские ученые создали импортозамещающий комплекс для выпуска микроэлектронных наноструктур.
В СпбПУ разработан импортозамещающий технологический комплекс, на котором можно создавать наноструктуры, необходимые для работы разного микроэлектронного оборудования. Новая разработка способствует решению вопроса о технологическом суверенитете России в сфере микроэлектронного оборудования.
Первым этапом разработки является процесс литографии. Обычно он проходит на зарубежном оборудовании. Литография – это дорогостоящий процесс, на который уходит много времени. Эксперты из СпбПУ предложили использовать аналогичное получение картинки на подложке, но без применения шаблона по технологии безмасочной литографии. Также для работы прибора ученые разработали специальное программное обеспечение. Устройство полностью автоматизировано.
На втором этапе происходит процесс плазмохимического травления по рисунку сознанному на первом шаге.
По оценкам экспертов новая российская установка будет стоить около пяти миллионов рублей. Для сравнения иностранная выходит в среднем от 10 до 13 миллиардов рублей.
Ранее телеканал «Санкт-Петербург» сообщал, что четыре участника из Северной столицы заняли призовые места в хакатоне по искусственному интеллекту, который прошел в Новосибирске
